主流ESD防静电做法是什么？

50611规范上对防静电接地要求宜采用综合接地，而您发的esd资料里距离10m设置。现在主流esd的做法是什么样子的? 是否有相关图纸或图集可参考?

1.洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。

2.防静电地面，表面电阻率应为10^5 ~1012 ，通常设计为10^6见~10^9 。

3.一个房间内应设置等点位的接地网格或闭合的接地铜排环。

4.接地系统采用综合接地方式时，接地电阻值应<12;采用分散接地方式肘，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。

5.接地类型主要有防雷接地、电气设备接地、防静电接地、防感应雷接地。